Formation of superhard state of the TiZrHfNbTaYN vacuum–arc high-entropy coating von V. M. Beresnev, O. V. Sobol, A. A. Andreev, V. F. Gorban, S. A. Klimenko, S. V. Litovchenko, D. V. Kovteba, A. A. Mejlekhov, A. A. Postelnik, U. S. Nemchenko, Ju. Novikov, B. A. Mazilin

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