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Харвестер відкритої науки НАН України
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Coupling effects of CH4/H2/Ar gas ratios and hot filament-substrate distance on the growth of nanocrystalline diamond
von
B. Deng
,
Ts. Vej
,
M. Ji
,
I. Luo
,
L. Li
,
K. Chzhou
,
L. Ma
Veröffentlicht 2020
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