Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO₂(Si) films under thermal and laser annealing за авторством Steblova, O.V., Evtukh, A.A., Bratus’, O.I., Fedorenko, L.L., Voitovych, M.V., Lytvyn, O.S., Gavrylyuk, O.O., Semchuk, O.Yu.

Отримати повний текст