Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown за авторством Dakhov, A.N., Dudin, S.V.

Отримати повний текст

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma за авторством Dudin, S.V., Dakhov, A.N.

Отримати повний текст

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source за авторством Dakhov, A.N., Dudin, S.V.

Отримати повний текст

Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide за авторством Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Dakhov, A., Yefymenko, N.

Отримати повний текст

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor за авторством Dudin, S.V., Dakhov, A.N., Lisovskiy, V.A., Pletniov, V.M.

Отримати повний текст

Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N.

Отримати повний текст

Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.

Отримати повний текст