The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron за авторством Panchenko, O.A., Goncharov, A.A., Demchishin, A.V., Kostin, E.G., Pavlov, S.N., Stetsenko, B.V.

Отримати повний текст

Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications за авторством Goncharov, A., Demchishin, A., Dobrovolskiy, A., Kostin, E., Panchenko, O., Pavlov, C., Protsenko, I., Stetsenko, B., Ternovoy, E., Brown, I. G.

Отримати повний текст