Харвестер відкритої науки НАН України

The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition

von Demchishin, A.V., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Kostin, E.G.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2008)

The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron

von Panchenko, O.A., Goncharov, A.A., Demchishin, A.V., Kostin, E.G., Pavlov, S.N., Stetsenko, B.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2005)