Результати пошуку - Dzh. Ju. Jam
- Показ 1 - 1 результатів із 1
-
1
Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics за авторством A. V. Voznyj, Dzh. Ju. Jam, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Опубліковано 2006Отримати повний текст
Стаття