Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings

за авторством Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Sergiec, M., Farenik, V.
Опубліковано 2015

Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis

за авторством Yakovin, S., Dudin, S., Zykov, A., Shyshkov, A., Farenik, V.
Опубліковано 2012

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor

за авторством Dudin, S.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано 2010

The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma

за авторством Antonova, T.N., Dudin, S.V., Farenik, V.I.
Опубліковано 2003

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

за авторством Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Опубліковано 2003

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

за авторством Dudin, S.V., Farenik, V.I., Dahov, A.N., Walkowicz, J.
Опубліковано 2005

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано 2006

Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis

за авторством Yakovin, S.D., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Farenik, V.I.
Опубліковано 2011

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system

за авторством Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Farenik, V., Goncharov, A., Shelest, I., Kuznetsov, V.
Опубліковано 2017

Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride

за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано 2016