Харвестер відкритої науки НАН України

Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis

von Yakovin, S., Dudin, S., Zykov, A., Shyshkov, A., Farenik, V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2012)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings

von Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Sergiec, M., Farenik, V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2015)

The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma

von Antonova, T.N., Dudin, S.V., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2003)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

von Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2003)

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor

von Dudin, S.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2010

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

von Dudin, S.V., Farenik, V.I., Dahov, A.N., Walkowicz, J.
Veröffentlicht in Физическая инженерия поверхности (2005)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system

von Yakovin, S., Zykov, A., Dudin, S., Farenik, V., Goncharov, A., Shelest, I., Kuznetsov, V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2017)

Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis

von Yakovin, S.D., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2011)

Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride

von Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Журнал физики и инженерии поверхности (2016)