The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma за авторством Antonova, T.N., Dudin, S.V., Farenik, V.I.

Отримати повний текст

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure за авторством Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.

Отримати повний текст

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.

Отримати повний текст

Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.

Отримати повний текст