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Харвестер відкритої науки НАН України
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Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates: influence of film thickness and orientation
von
Haccart, T.
,
Cattan, E.
,
Remiens, D.
Veröffentlicht in
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
(2002)
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