Open Science Harvester of NAS of Ukraine

Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем...

by Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.
Published 2017

Features of plasma chemical etching of lithium tantalate substrate (LiTaO₃)

by Fedorovich, O.A., Hladkovska, O.V., Hladkovskyi, V.V., Nedybaliuk, A.F.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2021)

Features of the low energy protons interaction with molibden surface

by Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2019)

Рeculiarities of interaction of low-energy protons with tungsten surface

by Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Petriakov, V.А., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2018)

Interaction of low-energy protons with aluminum surface

by Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Nedybaliuk, A.F., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.
Published in Вопросы атомной науки и техники (2019)