Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем... за авторством Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.

Отримати повний текст

Features of plasma chemical etching of lithium tantalate substrate (LiTaO₃) за авторством Fedorovich, O.A., Hladkovska, O.V., Hladkovskyi, V.V., Nedybaliuk, A.F.

Отримати повний текст