Showing
1 - 2
results of
2
Skip to content
Login
Language
English
Deutsch
Українська
Open Science Harvester of NAS of Ukraine
All Fields
Title
Journal Title
Author
Subject
Description
Tag
Full text
Find
Advanced
Author
Hladkovskyi, V.V.
Search Results - Hladkovskyi, V.V.
Showing
1 - 2
results of
2
Refine Results
Sort
Relevance
Date Descending
Date Ascending
Call Number
Author
Title
Email
Export
Print
bulk_save_button
select_all_on_page
Select result number 1
1
Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем...
by
Hladkovskyi, V. V.
,
Fedorovich, O. A.
Published 2017
Get full text
Article
standalone_record_link
Save to List
Saved in:
Select result number 2
2
Features of plasma chemical etching of lithium tantalate substrate (LiTaO₃)
by
Fedorovich, O.A.
,
Hladkovska, O.V.
,
Hladkovskyi, V.V.
,
Nedybaliuk, A.F.
Published in
Вопросы атомной науки и техники
(2021)
Get full text
Article
standalone_record_link
Save to List
Saved in:
Email
Export
Print
bulk_save_button
select_all_on_page
Search Tools:
RSS Feed
Email Search
Related Subjects
Applications and technologies
anisotropy
deep etching of silicon
ion energy
plasma chemistry
анізотропія
глибинне травлення кремнію
енергія іонів
магнітне поле
плазмохімія