Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем... von Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.

Volltext

Features of plasma chemical etching of lithium tantalate substrate (LiTaO₃) von Fedorovich, O.A., Hladkovska, O.V., Hladkovskyi, V.V., Nedybaliuk, A.F.

Volltext

Features of the low energy protons interaction with molibden surface von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S.

Volltext

Рeculiarities of interaction of low-energy protons with tungsten surface von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Petriakov, V.А., Rokitskyi, А.A., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.

Volltext

Interaction of low-energy protons with aluminum surface von Fedorovich, O.A., Hladkovskyi, V.V., Polozov, B.P., Voitenko, L.M., Kostin, E.G., Rokitskyi, А.A., Nedybaliuk, A.F., Oberemok, А.S., Burdin, V.V.

Volltext