Hall sensors MOS structure active elements deep traps delay time indirect laser heating integrated circuits memory element polycrystalline silicon recrystallization single-crystal layers switching threshold voltage МОП-структура активные элементы время задержки глубокие ловушки датчики Холла косвенный лазерный нагрев микросхемы монокристаллические слои переключение поликристаллический кремний пороговое напряжение рекристаллизация элемент памяти