Suchergebnisse - Kostin, E.G.
- Treffer 1 - 3 von 3
-
1
Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления von Kostin, E. G., Demchyshyn, A. V.
Veröffentlicht 2008Volltext
Artikel -
2
-
3
Suchwerkzeuge:
Ähnliche Schlagworte
TiN films
TiO2 films
carbon diamond-like films
heating temperature
magnetron
modular spectrometer
optical radiation of plasma
plasma chemical reactor
reactive sputtering
solid state detector spectrometer systema
spectroscopic measurements
substrate
алмазоподобные пленки
композитные нанокластерные пленки
магнетрон
модуляционная поляриметрия
оптическое излучение плазмы
плазмохимический реактор
пленки TiN
пленки TiO2
подложка
реактивное распыление
температура нагрева
углеродные алмазоподобные пленки