Результати пошуку - Kostylov, V.P.
- Показ 1 - 1 результатів із 1
-
1
Increase of planar homogeneity of multi-silicon structures by gettering treatments за авторством Litovchenko, V.G., Efremov, A.A., Evtukh, A.A., Rassamakin, Yu.V., Klyui, M.I., Kostylov, V.P.
Опубліковано в: Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics (2001)Отримати повний текст
Стаття