Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением... von Погребняк, А.Д., Krause-Rehberg, R., Купчишин, А.И., Дробышевская, А.А., Иващенко, В.И., Шипиленко, А.П., Колесников, Д.А., Ердыбаева, Н.К.

Volltext