Measurement of gas-plasma torch temperature за авторством Klepikov, V.F., Shchelokovskyy, P.A., Kryshtal, P.G., Tolstolutskiy, A.G., Uvarov, V.V.

Отримати повний текст

Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge за авторством Deryzemlia, A.M., Kryshtal, P.G., Malykhin, D.G., Radchenko, V.I., Shirokov, B.M.

Отримати повний текст

Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge за авторством Deryzemlia, A.N., Yevsiukov, A.I., Radchenko, V.I., Khizhnyak, D.A., Kryshtal, P.G., Zhuravlov, A.Yu., Shijan, A.V., Strigunovskiy, S.V., Pelypets, Yu.A., Shirokov, B.M.

Отримати повний текст