Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering за авторством A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, L. A. Ivashchenko, O. K. Synelnychenko, S. M. Dub, O. S. Lytvyn, I. I. Tymofieieva, H. M. Tolmacheva

Отримати повний текст