Ion–plasma deposition of the nanostructured multicom-ponent coatings on thermolabile materials за авторством L. S. Osipov, Ju. Polotskij, S. A. Bespalov, M. S. Snitsar, V. I. Nevmerzhitskij

Отримати повний текст

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor за авторством E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov

Отримати повний текст

Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique за авторством A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi

Отримати повний текст