високовольтний тліючий розряд електронний пучок electron beam interpolation інтерполяція high voltage glow discharge ravine function root-polynomial function высоковольтный тлеющий разряд електронно-променеві технології коренево-поліноміальна функція яружна функція average error boundary trajectory electron beam technologies electron gun extrapolation focal parameters of the electron beam high-voltage glow discharge minimax analysis гранична траєкторія екстраполяція електронна гармата електронна гармата високовольтного тліючого розряду минимаксный анализ мінімаксний аналіз транспортування електронного пучка CAD-systems Simulation of Electronic Components Simulation of electronic circuits