Suchergebnisse - Minaeva, K.M.

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    Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources von Manuilenko, O.V., Minaeva, K.M.

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    Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: pure argon and argon-oxygen mixtures von Manuilenko, O.V., Minaeva, K.M., Golota, V.I.

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