Результати пошуку - Minaeva, K.M.
- Показ 1 - 2 результатів із 2
-
1
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources за авторством Manuilenko, O.V., Minaeva, K.M.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)Отримати повний текст
Стаття -
2