Influence of conditions of deposition and annealing on a nanohardness of amorphous Si–C–N films von O. K. Porada

Volltext

Hard plasmachemical a-SiCN coatings von O. K. Porada, A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, S. M. Dub, H. M. Tolmacheva

Volltext

Electrical and photoelectrical properties of a-SICN/c-SI heterojunctions von A. V. Sukach, V. V. Tetorkin, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, A. O. Kozak, A. I. Tkachuk, A. T. Voroshchenko

Volltext

Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering von A. O. Kozak, V. I. Ivashchenko, O. K. Porada, L. A. Ivashchenko, O. K. Synelnychenko, S. M. Dub, O. S. Lytvyn, I. I. Tymofieieva, H. M. Tolmacheva

Volltext