Theoretical study on laser annealing of non-stoichiometric SiOX films за авторством O. O. Gavrylyuk

Отримати повний текст

Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing за авторством O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk, O. V. Steblova, A. A. Evtukh, L. L. Fedorenko

Отримати повний текст

Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing за авторством O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk, O. V. Steblova, A. A. Evtukh, L. L. Fedorenko

Отримати повний текст

Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing за авторством O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus, L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk

Отримати повний текст