Theoretical study on laser annealing of non-stoichiometric SiOX films

за авторством O. O. Gavrylyuk
Опубліковано 2014

Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing

за авторством O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk, O. V. Steblova, A. A. Evtukh, L. L. Fedorenko
Опубліковано 2014

Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing

за авторством O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk, O. V. Steblova, A. A. Evtukh, L. L. Fedorenko
Опубліковано 2014

Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing

за авторством O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus, L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk
Опубліковано 2014