Nb–Al–N thin films: structural transition from nanocrystalline solid solution nc-(Nb, Al)N into nanocomposite nc-(Nb, Al)N/a–AlN

von V. I. Ivashchenko, S. N. Dub, P. L. Skrynskij, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, G. N. Tolmacheva, V. N. Rogoz, A. K. Sinelnichenko
Veröffentlicht 2016