Харвестер відкритої науки НАН України

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

von Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2003)

Bone-like coatings deposition by using of modern pulsed ion-plasma technology

von Zykova, A.V., Dudin, S.V., Polozhiy, K.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2003)