Харвестер відкритої науки НАН України

Structural engineering of NbN/Cu multilayer coatings by changing the thickness of the layers and the magnitude of the bias potential during deposition

von Sobol’, O.V., Andreev, A.A., Stolbovoy, V.A., Kolesnikov, D.A., Kovaleva, M.G., Meylekhov, A.A., Postelnyk, Н.О., Dolomanov, А.V., Sagaidashnikov, Yu.Ye., Kraievska, Zh.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2019)