Газофазне осадження кавітаційностійкого покриття на основі карбіду бору

by Zhuravlov, A. Yu., Shijan, A. V., Shirokov, B. M.
Published 2018

Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge

by Deryzemlia, A.N., Yevsiukov, A.I., Radchenko, V.I., Khizhnyak, D.A., Kryshtal, P.G., Zhuravlov, A.Yu., Shijan, A.V., Strigunovskiy, S.V., Pelypets, Yu.A., Shirokov, B.M.
Published 2019