CeOx thin films MIS photodiodes MIS varactors bioluminescence biosensor systems ion-selective field-effect transistors pH registration photoresistors МДП-варакторы МДП-фотодиоды биолюминесценция биосенсорные системы ионоселективные полевые транзисторы регистрация рН тонкие пленки CeOx фоторезисторы