Харвестер відкритої науки НАН України

High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching

von V. I. Farenik
Veröffentlicht 2004

Receipt and transportation of ion beams of low and average energy

von V. I. Farenik
Veröffentlicht 2005

Low Energy-intensive plasma systems with discharges in combined electric and magnetic fields

von V. I. Farenik
Veröffentlicht 2009

Development of plasma methods for the synthesis of fullerenes

von V. G. Udovitskij, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2012

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

von S. V. Dudin, V. I. Farenik, A. N. Dahov, J. Walkowicz
Veröffentlicht 2005

Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

von A. V. Sagalovich, V. V. Sagalovich, S. V. Dudin, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2014

Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

von A. V. Voznyj, Dzh. Ju. Jam, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2006

Ion-plasma system for reactive magnetron deposition

von S. D. Yakovin, O. V. Zykov, S. V. Dudin, V. I. Farenik, M. M. Yunakov
Veröffentlicht 2014

The educational-scientific complexes in the field of high technologies

von N. A. Azarenkov, A. V. Zykova, V. F. Klepikov, V. I. Lapshin, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2003

Nanocrystalline and nanocomposite coverings, structure, properties

von V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, N. A. Azarenkov, V. I. Farenik, G. V. Kirik
Veröffentlicht 2007

Nanoscience and nanotechnologies: modern achievements, perspectives, developing problems and tasks

von N. A. Azarenkov, V. D. Orlov, N. I. Slipchenko, V. G. Udovitskij, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2005

Training and training in the field of nanotechnology and the use of at the same time, the scientific heritage

von N. A. Azarenkov, V. D. Orlov, N. I. Slipchenko, V. G. Udovitskij, V. I. Farenik
Veröffentlicht 2009