Показ 1 - 2 результатів із 2 для пошуку 'V. V. Gladkovskij', час виконання запиту: 0.00сек. Уточнити результати
  1. 1
    Investigation of the influence of oxygen on the rate and anisotropy of deep etching of silicon in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field
    за авторством V. V. Gladkovskij, O. A. Fedorovich
    Опубліковано 2017
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
  2. 2
    The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films
    за авторством V. V. Gladkovskij, E. G. Kostin, B. P. Polozov, O. A. Fedorovich, V. A. Petrjakov
    Опубліковано 2014
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
Інструменти для пошуку: Отримати RSS-стрічку – Відправити пошук е-поштою