Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source за авторством O. V. Vozniy, G. Y. Yeom, Yu. Kropotov

Отримати повний текст

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2 за авторством I. N. Torianik, V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, Ye. V. Beresneva, I. A. Podcherniaieva, Yu. Kropotov, N. G. Stiervoiedov, P. V. Turbin, D. A. Kolesnikov

Отримати повний текст