Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source

за авторством O. V. Vozniy, G. Y. Yeom, Yu. Kropotov
Опубліковано 2007

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2

за авторством I. N. Torianik, V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, Ye. V. Beresneva, I. A. Podcherniaieva, Yu. Kropotov, N. G. Stiervoiedov, P. V. Turbin, D. A. Kolesnikov
Опубліковано 2013