Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source von O. V. Vozniy, G. Y. Yeom, Yu. Kropotov

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Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2 von I. N. Torianik, V. M. Beresnev, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol, Ye. V. Beresneva, I. A. Podcherniaieva, Yu. Kropotov, N. G. Stiervoiedov, P. V. Turbin, D. A. Kolesnikov

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