Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique за авторством A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi

Отримати повний текст