Зображення обкладинки

Registration Materials for Laser Thermolithography

The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of lase...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2012
Автори:	Kryuchyn, A. A., Rubish, V. M., Kostiukevych, S. O., Minko, V. I., Shepelyavy, P. E., Lysyuk, V. O., Kostyukevych, K. V., Surmach, M. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Теми:	thermolithography inorganic photoresists nonlinear exposure characteristics
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/105215
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se
за авторством: Indutny, I. Z., та інші
Опубліковано: (2013)

COMPARATIVE EVALUATION OF THE EFFICIENCY OF SOLAR TRACKING WITH UNIAXIAL TRACKING DEVICE
за авторством: Syrotyuk, S., та інші
Опубліковано: (2022)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: Панкратова, А. В., та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of resonance and nonlinear properties of soils on seismic hazard of construction areas
за авторством: Kendzera, A. V., та інші
Опубліковано: (2016)

Control of wave interaction processes in plasma
за авторством: Buts, V.O., та інші
Опубліковано: (2021)

An application of membrane sensors in hydrolocation systems using digital laser interferometers
за авторством: Britsky, A. I., та інші
Опубліковано: (2019)

THE RECIPROCITY PRINCIPLE FOR A NONLINEAR ANISOTROPIC MEDIUM WITHOUT HYSTERESIS: THEORY AND PRACTICE OF APPLICATION
за авторством: Tolmachev, S. T., та інші
Опубліковано: (2020)

Influence of laser radiation and mercury vapors on the structure of se100-xtex amorphous films
за авторством: V. M. Rubish, та інші
Опубліковано: (2022)

IMPROVING OF ELECTROMECHANICAL STABILIZATION SYSTEMS ACCURACY
за авторством: Kuznetsov, B. I., та інші
Опубліковано: (2019)

Інструментальні засоби непараметричної ідентифікації нелінійних динамічних систем на основі моделей Вольтерра у частотній області
за авторством: Pavlenko, Vitaliy Danylovich, та інші
Опубліковано: (2014)

Laser-induced changes in optical properties of amorphous films of the system Ge-Se
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2024)

IMPROVING OF ELECTROMECHANICAL SERVO SYSTEMS ACCURACY
за авторством: Kuznetsov, B. I., та інші
Опубліковано: (2018)

Experimental research of the problems of detecting bugs by means of nonlinear location
за авторством: Leontiev, V. O., та інші
Опубліковано: (2018)

Geological and geodynamic conditions for the formation of significant fields of the northern continental slope of the Black Sea
за авторством: Yesypovych, Stanislav, та інші
Опубліковано: (2017)

Experimental analysis of forced nonlinear vibrations of beams with breathing cracks
за авторством: Полищук, О. Ф., та інші
Опубліковано: (2017)

Experimental analysis of forced nonlinear vibrations of beams with breathing cracks
за авторством: Полищук, О. Ф., та інші
Опубліковано: (2017)

A mathematical apparatus for data analysis for forecasting nonlinear non-stationary processes
за авторством: Shulkevych, T. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Non-linear dynamics theory and malignant melanoma
за авторством: Orel, V.E., та інші
Опубліковано: (2023)

Registration and assessment of load cycles in pipelines
за авторством: Torop, O., та інші
Опубліковано: (2009)

The interaction of acousnic and electromagnetic fields in a mixture of electrolytes
за авторством: Kuzmina, L. M., та інші
Опубліковано: (2016)

Influence of temporal parameters of laser irradiation on emission spectra of the evaporated material
за авторством: Zabello, E., та інші
Опубліковано: (1999)

Adaptive seismic studies: seismic field registration models
за авторством: Roman, V. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Elements of nonlinear analysis of information streams
за авторством: Lande, D. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Some issues of registration and reproduction of information touching upon objects of material and spiritual culture using technologies of the state insurance documentation fund of Ukraine.
за авторством: Babenko, V. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Two approaches to the problem of ray seismic tomography
за авторством: Tsvetkova, T.A.
Опубліковано: (2015)

Nonlinear dynamics of geo-medium: transitional processes and critical phenomena
за авторством: Shuman, V.
Опубліковано: (2014)

A RECONFIGURABLE METASURFACE IN THE FORM OF A FABRY-PÉROT RESONATOR, INVOLVING SEMI-TRANSPARENT MIRRORS AND A NONLINEAR DIELECTRICINSERT
за авторством: Antonenko, Ye. O., та інші
Опубліковано: (2024)

Еstimation of integrated characteristics of materials of rail concrete structures by the method of surface wave
за авторством: Vusatiuk, A.Ye., та інші
Опубліковано: (2018)

COMPARATIVE ANALYSIS OF ALGEBRAIC AND HYPERBOLIC POLYNOMIALS APPLICATION IN RESEARCH ON TRANSIENTS IN OUTPUT CIRCUITS OF DISCHARGE-PULSE SYSTEMS
за авторством: Shydlovskaya, N. A., та інші
Опубліковано: (2012)

The registration and accounting of the information about events in specialized informational-telecommunication systems
за авторством: Alekseev, V.A., та інші
Опубліковано: (2025)

Detectors for Registration of Electron Radiation Fluxes in Near- Earth Space
за авторством: Bazaleev, M. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Problems and prospects of studying the processes of selective laser melting of materials for aerospace engineering (Review)
за авторством: M. V. Sokolovskyi
Опубліковано: (2022)

A COMPOSITION PATCH ANTENNA
за авторством: Pogarsky, S. A., та інші
Опубліковано: (2024)

THE INFLUENCE OF AERODYNAMIC CHARACTERISTICS OF A BLADE PROFILE ON THE ENERGY CHARACTERISTICS OF A WINDOW ROTOR
за авторством: Holovko, V., та інші
Опубліковано: (2019)

Modeling of evolution nonlinear ecosystem
за авторством: Azarov, Sergii I., та інші
Опубліковано: (2019)

A BROADBAND PATCH ANTENNA BASED ON A PLANAR UNCLOSED ANNULAR RADIATOR
за авторством: Pogarsky, S. A., та інші
Опубліковано: (2023)

Somplex approach to certification and metrological estimation the state of digital seismometric registrators
за авторством: S. V. Shcherbyna, та інші
Опубліковано: (2021)