The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures

• Дата: 2020
• Автори: Petrov, V. V., Kryuchуn, A. A., Rubish, V. M., Kostyukevуch, S. A., Shepeliavyi, P. E.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2020
• Теми: наноструктури; халькогенідні склоподібні напівпровідники; неорганічні резисти; плазмони; ближнє поле; nanostructures; chalcogenide vitreous semiconductors; inorganic resists; plasmons; near field
• Онлайн доступ: http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/211249
• Назва журналу: Data Recording, Storage & Processing

The results on the analysis of methods for the formation of nanoscale elements on thin films of chalcogenide glassy semiconductors and their application to create optical diffraction elements are presented. When creating micro- and nanoelements of optoelectronic devices, micro / nanoelectromechanica...