Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором

Реализована процедура оптимизации порогового напряжения биполярного транзистора с изолированным затвором. Посредством проведения отсеивающего эксперимента выявлены наиболее значимые входные параметры. Проведены экспериментальные исследования с использованием метода поверхности откликов для определен...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: Баранов, В.В., Боровик, А.М., Ловшенко, И.Ю., Стемпицкий, В.Р., Чан Туан Чунг, Шелибак, И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100477
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором / В.В. Баранов, А.М. Боровик, И.Ю. Ловшенко, В.Р. Стемпицкий, Чан Туан Чунг, И. Шелибак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 1. — С. 38-43. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-100477
record_format dspace
spelling irk-123456789-1004772016-05-23T03:02:24Z Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором Баранов, В.В. Боровик, А.М. Ловшенко, И.Ю. Стемпицкий, В.Р. Чан Туан Чунг Шелибак, И. Технологические процессы и оборудование Реализована процедура оптимизации порогового напряжения биполярного транзистора с изолированным затвором. Посредством проведения отсеивающего эксперимента выявлены наиболее значимые входные параметры. Проведены экспериментальные исследования с использованием метода поверхности откликов для определения разброса значений выходной характеристики посредством анализа в цикле Монте-Карло, а также расчета допустимых отклонений входных параметров, в наибольшей степени влияющих на пороговое напряжение. Реалізовано процедуру оптимізації граничної напруги біполярного транзистора з ізольованим затвором. За допомогою експерименту, що відсіває, виявлено вхідні параметри, які найбільш суттєво впливають на вихідну величину (граничну напругу). Проведено експериментальні дослідження з використанням методу поверхні відгуків для визначення розкиду вихідних характеристик за допомогою аналізу в циклі Монте-Карло, а також розрахунку допустимих відхилень вхідних параметрів, що впливають на порогову напругу в найбільшій мірі. Procedure of the IGBT threshold voltage optimization was realized. Through screening experiments according to the Plackett-Burman design the most important input parameters (factors) that have the greatest impact on the output characteristic was detected. The coefficients of the approximation polynomial adequately describing the relationship between the input parameters and investigated output characteristics ware determined. Using the calculated approximation polynomial, a series of multiple, in a cycle of Monte Carlo, calculations to determine the spread of threshold voltage values at selected ranges of input parameters deviation were carried out. Combinations of input process parameters values were determined randomly by a normal distribution within a given range of changes. The procedure of IGBT process parameters optimization consist a mathematical problem of determining the value range of the input significant structural and technological parameters providing the change of the IGBT threshold voltage in a given interval. The presented results demonstrate the effectiveness of the proposed optimization techniques. 2015 Article Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором / В.В. Баранов, А.М. Боровик, И.Ю. Ловшенко, В.Р. Стемпицкий, Чан Туан Чунг, И. Шелибак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 1. — С. 38-43. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 DOI: 10.15222/TKEA2015.1.38 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100477 (621.382.3: 546.28): 537.852 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Баранов, В.В.
Боровик, А.М.
Ловшенко, И.Ю.
Стемпицкий, В.Р.
Чан Туан Чунг
Шелибак, И.
Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Реализована процедура оптимизации порогового напряжения биполярного транзистора с изолированным затвором. Посредством проведения отсеивающего эксперимента выявлены наиболее значимые входные параметры. Проведены экспериментальные исследования с использованием метода поверхности откликов для определения разброса значений выходной характеристики посредством анализа в цикле Монте-Карло, а также расчета допустимых отклонений входных параметров, в наибольшей степени влияющих на пороговое напряжение.
format Article
author Баранов, В.В.
Боровик, А.М.
Ловшенко, И.Ю.
Стемпицкий, В.Р.
Чан Туан Чунг
Шелибак, И.
author_facet Баранов, В.В.
Боровик, А.М.
Ловшенко, И.Ю.
Стемпицкий, В.Р.
Чан Туан Чунг
Шелибак, И.
author_sort Баранов, В.В.
title Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
title_short Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
title_full Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
title_fullStr Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
title_full_unstemmed Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
title_sort статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2015
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100477
citation_txt Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором / В.В. Баранов, А.М. Боровик, И.Ю. Ловшенко, В.Р. Стемпицкий, Чан Туан Чунг, И. Шелибак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2015. — № 1. — С. 38-43. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT baranovvv statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
AT borovikam statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
AT lovšenkoiû statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
AT stempickijvr statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
AT čantuančung statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
AT šelibaki statističeskijanalizioptimizaciâparametrovtehnologiiizgotovleniâbipolârnogotranzistorasizolirovannymzatvorom
first_indexed 2024-03-30T08:49:56Z
last_indexed 2024-03-30T08:49:56Z
_version_ 1796148674705752064