Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано, что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий (∼10 мкм) достаточно точно позволяет оценивать...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100589 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов / Е.Н. Решетняк // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 318–325. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Рассмотрены особенности применения метода рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) для
исследования химического состава тонких покрытий многокомпонентных нитридов. Показано,
что расчет концентрации методом фундаментальных параметров для толстых покрытий
(∼10 мкм) достаточно точно позволяет оценивать соотношение металлических компонентов.
Использование такого расчета при анализе тонких слоев в ряде случаев приводит к существенным ошибкам. Предложен способ введения поправки весовой концентрации на толщину
покрытия, позволяющий повысить точность определения состава. Представлены результаты
экспериментов по определению элементного состава тонких покрытий (Ti, Al)N методом РФА
на спектрометре “Спрут-ВМ”. |
|---|