Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление
Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрыти...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100591 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-100591 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1005912016-05-25T03:02:04Z Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка. Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано, що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки. Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed. It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders. 2013 Article Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100591 537.534.2:679.826 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное
сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление
наноструктурных алмазных покрытий можно изменять по величине более чем на 3 порядка. |
| format |
Article |
| author |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| spellingShingle |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_sort |
Грицына, В.И. |
| title |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_short |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_full |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_fullStr |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_full_unstemmed |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| title_sort |
влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100591 |
| citation_txt |
Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев,
Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT gricynavi vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie AT dudniksf vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie AT koševojki vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie AT opalevoa vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie AT rešetnâken vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie AT strelʹnickijve vliâniesostavagazovojfazyprisintezenanostrukturnyhalmaznyhpokrytijnaihudelʹnoesoprotivlenie |
| first_indexed |
2024-03-30T08:50:31Z |
| last_indexed |
2024-03-30T08:50:31Z |
| _version_ |
1796148686478114816 |