О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с темпе...
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100593 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации
пленочной системы по всей толщине. |
|---|