О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с темпе...
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100593 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-100593 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1005932016-05-25T03:02:06Z О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации пленочной системы по всей толщине. Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано, що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині. The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness. Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization. 2013 Article О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100593 538.975 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе
Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась
путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации
пленочной системы по всей толщине. |
| format |
Article |
| author |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| spellingShingle |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Крышталь, А.П. Богатыренко, С.И. Сухов, Р.В. Миненков, А.А. |
| author_sort |
Крышталь, А.П. |
| title |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_short |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_fullStr |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_full_unstemmed |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd |
| title_sort |
о диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе ag-pd |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100593 |
| citation_txt |
О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd / А.П. Крышталь, С.И. Богатыренко, Р.В. Сухов, А.А. Миненков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 351–354. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT kryštalʹap odiffuzionnomperemešivaniivsloistojplenočnojsistemeagpd AT bogatyrenkosi odiffuzionnomperemešivaniivsloistojplenočnojsistemeagpd AT suhovrv odiffuzionnomperemešivaniivsloistojplenočnojsistemeagpd AT minenkovaa odiffuzionnomperemešivaniivsloistojplenočnojsistemeagpd |
| first_indexed |
2024-03-30T08:50:32Z |
| last_indexed |
2024-03-30T08:50:32Z |
| _version_ |
1796148686692024320 |