Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2003
Автори: Валиев, К.А., Маишев, Ю.П., Шевчук, С.Л.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-101835
record_format dspace
spelling irk-123456789-1018352016-06-09T03:02:04Z Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. 2003 Article Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
format Article
author Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
spellingShingle Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Физическая инженерия поверхности
author_facet Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П.
Шевчук, С.Л.
author_sort Валиев, К.А.
title Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_short Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_full Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_fullStr Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_full_unstemmed Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
title_sort реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2003
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835
citation_txt Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT valievka reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov
AT maiševûp reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov
AT ševčuksl reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov
first_indexed 2023-10-18T20:03:34Z
last_indexed 2023-10-18T20:03:34Z
_version_ 1796148812076548096