Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Збережено в:
Дата: | 2003 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-101835 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1018352016-06-09T03:02:04Z Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. 2003 Article Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
format |
Article |
author |
Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
spellingShingle |
Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов Физическая инженерия поверхности |
author_facet |
Валиев, К.А. Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
author_sort |
Валиев, К.А. |
title |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
title_short |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
title_full |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
title_fullStr |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
title_full_unstemmed |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
title_sort |
реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов |
publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
publishDate |
2003 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835 |
citation_txt |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
series |
Физическая инженерия поверхности |
work_keys_str_mv |
AT valievka reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov AT maiševûp reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov AT ševčuksl reaktivnyjionnolučevojsinteztonkihplënokneposredstvennoizpučkovélektronov |
first_indexed |
2023-10-18T20:03:34Z |
last_indexed |
2023-10-18T20:03:34Z |
_version_ |
1796148812076548096 |