Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2003
Автори: Валиев, К.А., Маишев, Ю.П., Шевчук, С.Л.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine