Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-101838 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1018382016-06-09T03:02:06Z Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. 2003 Article Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| format |
Article |
| author |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| spellingShingle |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
| author_sort |
Белоус, В.А. |
| title |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_short |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_fullStr |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_full_unstemmed |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| title_sort |
радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2003 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838 |
| citation_txt |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:03:34Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:03:34Z |
| _version_ |
1796148812392169472 |