2025-02-23T14:54:52-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101838%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:54:52-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101838%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:54:52-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:54:52-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Белоус, В.А., Лапшин, В.И, Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-101838
record_format dspace
spelling irk-123456789-1018382016-06-09T03:02:06Z Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация Белоус, В.А. Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. 2003 Article Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
format Article
author Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
spellingShingle Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Физическая инженерия поверхности
author_facet Белоус, В.А.
Лапшин, В.И
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_sort Белоус, В.А.
title Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_short Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_fullStr Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_full_unstemmed Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
title_sort радиационные технологии модификации поверхности. i. ионная очистка и высокодозовая имплантация
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2003
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838
citation_txt Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT belousva radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT lapšinvi radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT marčenkoig radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
AT neklûdovim radiacionnyetehnologiimodifikaciipoverhnostiiionnaâočistkaivysokodozovaâimplantaciâ
first_indexed 2023-10-18T20:03:34Z
last_indexed 2023-10-18T20:03:34Z
_version_ 1796148812392169472