Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO

Изучено влияние температуры подложки, состава рабочего газа и режимов DC и MF реактивного магнетронного распыления сплава 90%In + 10%Sn на структурное состояние, электрическое сопротивление, прозрачность и ширину запрещенной зоны пленок ITO, осажденных на стеклянные подложки. Установленная зависимос...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2012
Автори:	Бажин, А.И., Троцан, А.Н., Чертопалов, С.В., Стипаненко, А.А., Ступак, В.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Назва видання:	Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101869
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO / А.И. Бажин, А.Н. Троцан, С.В. Чертопалов, А.А. Стипаненко, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 4. — С. 342-349. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
за авторством: Перекрестов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
за авторством: Чертопалов, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
за авторством: Петухов, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
за авторством: Василенко, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Механизм взаимодействия порошков ферромарганца и меди в процессе реакционного спекания
за авторством: Баглюк, Г.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Костин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Термокинетическая модель и механизм реакционного взаимодействия, инициированного перитектическим плавлением
за авторством: Солнцев, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
за авторством: Агулов, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование реакционного очага взаимодействия кислородной струи с металлическим расплавом
за авторством: Семыкин, С.И.
Опубліковано: (2006)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)

Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами
за авторством: Гончаров, А.А.
Опубліковано: (2011)

Исследование состава газа и углеродной связки в процессе физико-химического синтеза композиционных материалов
за авторством: Полторацкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние состава сердечника порошковой проволоки и защитного газа на стабильность процесса дуговой сварки
за авторством: Шлепаков, В.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Влияние состава наплавленного металла на структуру и механические свойства восстановленных железнодорожных колес
за авторством: Гайворонский, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние дефектов на электронную структуру углеродных нанотрубок
за авторством: Попов, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Анализ и кинетика процесса термоцентробежного распыления слитков из плавленых карбидов вольфрама
за авторством: Литвиненко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние различных технологических условий на процессы реакционного электроразрядного спекания композиции TiN—TiB2
за авторством: Петухов, А.С.
Опубліковано: (2009)

Влияние состава и режимов термической обработки на структуру, метастабильность аустенита и свойства износостойких чугунов
за авторством: Чейлях, Я.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)

Влияние различных видов бора на процессы синтеза композиции TiN—TiB₂ методом реакционного электроразрядного спекания
за авторством: Петухов, А.С., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние параметров режима сварки трением на структуру и механические свойства соединений титанового сплава ВТ3-1
за авторством: Селивестров, А.Г., та інші
Опубліковано: (2013)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние количества дутья и состава железорудной шихты на степень использования восстановительной способности газа в доменной печи
за авторством: Заблоцкий, П.А., та інші
Опубліковано: (2015)