2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101869%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101869%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO

Изучено влияние температуры подложки, состава рабочего газа и режимов DC и MF реактивного магнетронного распыления сплава 90%In + 10%Sn на структурное состояние, электрическое сопротивление, прозрачность и ширину запрещенной зоны пленок ITO, осажденных на стеклянные подложки. Установленная зависимос...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Бажин, А.И., Троцан, А.Н., Чертопалов, С.В., Стипаненко, А.А., Ступак, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101869
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101869%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-101869%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:12:16-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items