Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па

Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока м...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Видавець:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Дата:	2009
Автори:	Хороших, В.М., Леонов, С.А., Белоус, В.А., Толмачева, Г.Н.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Назва видання:	Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-101951
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1019512016-06-10T03:03:11Z Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока массы происходит за счет нейтральных атомов титана. Методом наноиндентирования установлено, что покрытия, получаемые при повышенных давлениях азота (~ 6 Па), характеризуются высокими механическими характеристиками. Отличия в свойствах покрытий, получаемых на лицевой, по отношению к выходному торцу источника плазмы и на обратной поверхности образца, связаны с влиянием капельной фазы эрозии катода, присутствующей на лицевой поверхности. Вивчені просторові розподіли потоку маси катодного матеріалу вакуумної дуги з титановим катодом при різному тиску азоту. Показано, що в області тиску азоту 2 ÷ 10 Па спостерігається підвищення щільності потоку маси катодного матеріалу в приосевий області розряду. Збільшення потоку маси відбувається за рахунок нейтральних атомів титану. Методом наноіндентування встановлено, що покриття, що отримують ся при підвищеному тиску азоту (~ 6 Па), характеризуються високими механічними характеристиками. Відмінності у властивостях покриттів, що отримують на лицевий, по відношенню до вихідного торця джерела плазми і на зворотній поверхні зразка, пов’язані з впливом краплинної фази ерозії катода, присутньої на лицьовій поверхні. The spatial distributing of cathode material mass stream for vacuum arc with a titanic cathode at different pressures of nitrogen is studied. It is shown, that at the nitrogen pressures range of 2 ÷ 10 Pa the increasing of cathode material mass stream in the axis area of discharge are observed. Multiplying the stream of mass takes place due to the neutral atoms of titan. It is set the nanoindentation, that coatings, got at the promoted pressures of nitrogen (~ 6 Pa), are characterized high mechanical descriptions. A difference are in properties of coatings, got on face, in relation to the output of plasma source of and on the reverse surface of sample, is due to drop phase of cathode erosion, present on a face surface. 2009 Article Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951 537.525.5 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока массы происходит за счет нейтральных атомов титана. Методом наноиндентирования установлено, что покрытия, получаемые при повышенных давлениях азота (~ 6 Па), характеризуются высокими механическими характеристиками. Отличия в свойствах покрытий, получаемых на лицевой, по отношению к выходному торцу источника плазмы и на обратной поверхности образца, связаны с влиянием капельной фазы эрозии катода, присутствующей на лицевой поверхности.
format	Article
author	Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н.
spellingShingle	Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па Физическая инженерия поверхности
author_facet	Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н.
author_sort	Хороших, В.М.
title	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
title_short	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
title_full	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
title_fullStr	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
title_full_unstemmed	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
title_sort	об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 па
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2009
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951
citation_txt	Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series	Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv	AT horošihvm obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT leonovsa obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT belousva obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT tolmačevagn obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa
first_indexed	2023-10-18T20:03:47Z
last_indexed	2023-10-18T20:03:47Z
_version_	1796148823960059904

Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па

Репозиторії

Схожі ресурси