Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока м...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-101951 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1019512016-06-10T03:03:11Z Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока массы происходит за счет нейтральных атомов титана. Методом наноиндентирования установлено, что покрытия, получаемые при повышенных давлениях азота (~ 6 Па), характеризуются высокими механическими характеристиками. Отличия в свойствах покрытий, получаемых на лицевой, по отношению к выходному торцу источника плазмы и на обратной поверхности образца, связаны с влиянием капельной фазы эрозии катода, присутствующей на лицевой поверхности. Вивчені просторові розподіли потоку маси катодного матеріалу вакуумної дуги з титановим катодом при різному тиску азоту. Показано, що в області тиску азоту 2 ÷ 10 Па спостерігається підвищення щільності потоку маси катодного матеріалу в приосевий області розряду. Збільшення потоку маси відбувається за рахунок нейтральних атомів титану. Методом наноіндентування встановлено, що покриття, що отримують ся при підвищеному тиску азоту (~ 6 Па), характеризуються високими механічними характеристиками. Відмінності у властивостях покриттів, що отримують на лицевий, по відношенню до вихідного торця джерела плазми і на зворотній поверхні зразка, пов’язані з впливом краплинної фази ерозії катода, присутньої на лицьовій поверхні. The spatial distributing of cathode material mass stream for vacuum arc with a titanic cathode at different pressures of nitrogen is studied. It is shown, that at the nitrogen pressures range of 2 ÷ 10 Pa the increasing of cathode material mass stream in the axis area of discharge are observed. Multiplying the stream of mass takes place due to the neutral atoms of titan. It is set the nanoindentation, that coatings, got at the promoted pressures of nitrogen (~ 6 Pa), are characterized high mechanical descriptions. A difference are in properties of coatings, got on face, in relation to the output of plasma source of and on the reverse surface of sample, is due to drop phase of cathode erosion, present on a face surface. 2009 Article Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951 537.525.5 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока массы происходит за счет нейтральных атомов титана. Методом наноиндентирования установлено, что покрытия, получаемые при повышенных давлениях азота (~ 6 Па), характеризуются высокими механическими характеристиками. Отличия в свойствах покрытий, получаемых на лицевой, по отношению к выходному торцу источника плазмы и на обратной поверхности образца, связаны с влиянием капельной фазы эрозии катода, присутствующей на лицевой поверхности. |
| format |
Article |
| author |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| spellingShingle |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Хороших, В.М. Леонов, С.А. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| author_sort |
Хороших, В.М. |
| title |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па |
| title_short |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па |
| title_full |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па |
| title_fullStr |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па |
| title_full_unstemmed |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па |
| title_sort |
об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 па |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2009 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951 |
| citation_txt |
Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT horošihvm obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT leonovsa obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT belousva obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa AT tolmačevagn obosobennostâhprocessaosaždeniâionnoplazmennyhpokrytijnaosnovenitridatitanavoblastidavlenijazota210pa |
| first_indexed |
2023-10-18T20:03:47Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:03:47Z |
| _version_ |
1796148823960059904 |