Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па
Изучены пространственные распределения потока массы катодного материала вакуумной дуги с титановым катодом при различных давлениях азота. Показано, что в области давлений азота 2 ÷ 10 Па наблюдается повышение плотности потока массы катодного материала в приосевой области разряда. Увеличение потока м...
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101951 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Об особенностях процесса осаждения ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота 2-10 Па / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 335-340. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |