Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается су...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/102620 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Р.Л. Василенко, И.В. Колодий, А.С. Куприн, М.А. Тихоновский, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 45-56. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |