2025-02-24T06:34:40-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-104006%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T06:34:40-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-104006%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T06:34:40-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-24T06:34:40-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование никель-платинового силицидного слоя в качестве барьерного для диода Шоттки

Формирование никель-платинового силицидного слоя в качестве барьерного для диода Шоттки

Предложен новый метод формирования барьера Шоттки, который включает магнетронное нанесение из многокомпонентной мишени, содержащей ванадий, платину и никель, тонкой пленки на кремнии с последующей ступенчатой термообработкой. С использованием данного метода изготовлены диоды Шоттки с высотой барьера...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Кучинский, П.В., Комаров, Ф.Ф., Мильчанин, О.В., Ковалева, Т.Б., Солодуха, В.А., Турцевич, А.С., Соловьев, Я.А., Гапоненко, С.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2014
Series:Электрические контакты и электроды
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104006
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Предложен новый метод формирования барьера Шоттки, который включает магнетронное нанесение из многокомпонентной мишени, содержащей ванадий, платину и никель, тонкой пленки на кремнии с последующей ступенчатой термообработкой. С использованием данного метода изготовлены диоды Шоттки с высотой барьера 0,69—0,71 В. Установлено, что барьерный слой состоит из силицидной фазы Ni1-xPtxSi.

Similar Items